VICI氣體純化器原理

VICI 氣體純化器是一種用于提高氣體純度的設(shè)備，可廣泛應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。以下是其詳細介紹：

• 工作原理：VICI 氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑，當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中的氧氣、水、氮氣、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，從而將雜質(zhì)去除，達到純化氣體的目的。

• 產(chǎn)品特點

• 凈化效果優(yōu)異：能夠?qū)怏w的純度從 99.995% 提升到 99.9999% 色譜純以上的等級，可有效去除氣體中的水、碳氫化合物、氧氣、二氧化碳、一氧化碳等多種雜質(zhì)。

• 結(jié)構(gòu)設(shè)計合理：采用優(yōu)化的多層次結(jié)構(gòu)，氣體每經(jīng)過一個層次的凈化，污染物含量都會相應(yīng)降低，能盡可能地減少接頭數(shù)量，降低氣體泄漏的可能性。

• 多種類型可選：有非加熱型純化器（Mat/Sen）和加熱型純化器（如 HP2、NP2 等）。非加熱型通常適用于通用型色譜儀等場景，加熱型 HP2 主要用于氦氣和其他惰性氣體的純化，NP2 則專門用于氮氣的純化。

• 操作簡便安全：純化器的操作相對簡單，無需復(fù)雜的操作流程和專業(yè)的技術(shù)培訓(xùn)。采用可加熱活化的吸附性合金材質(zhì)作為純化基質(zhì)，由穩(wěn)定的合金焊接裝配件組成，一些加熱型純化器還配備有自控裝置，確保純化過程的穩(wěn)定進行。

• 應(yīng)用領(lǐng)域

• 分析儀器領(lǐng)域：可應(yīng)用于超微量水、氧分析儀，氣相色譜儀（GC）、常壓離子質(zhì)譜儀（APIMS）等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，提高儀器的檢測精度和穩(wěn)定性。

• 半導(dǎo)體領(lǐng)域：可為眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套提供超高純的工藝氣體，滿足半導(dǎo)體制造對氣體純度的苛刻要求。

• 其他領(lǐng)域：可用于超高純度氣體管道安裝施工中純化軌道焊機使用的氬氣和驗收時使用的吹掃氣體等